曝露とは、紫外線の照射下で、光検証因子が光エネルギーを吸収し、フリーラジカルに分解し、フリーラジカルが光重合モノマーを開始して、重合と架橋反応を実行することを意味します。通常、露出は自動両面曝露機で実行されます。これで、露出機は、光源の冷却方法に従って空冷および水冷に分割できます。

露出に影響する要因画像の品質

フィルムフォトレジストのパフォーマンスに加えて、露出イメージングの品質に影響を与える要因は、光源の選択、暴露時間（暴露量）の制御、および写真プレートの品質です。

1）光源の選択

あらゆる種類のフィルムに独自のスペクトル吸収曲線があり、あらゆる種類の光源にも独自の発光スペクトル曲線があります。特定のタイプのフィルムの主要なスペクトル吸収ピークが、特定の光源のスペクトル放射メインピークと重複するか、ほとんど重複する場合、2つはよく一致し、曝露効果が最適です。

国内の乾燥フィルムのスペクトル吸収曲線は、スペクトル吸収領域が310〜440 nm（ナノメートル）であることを示しています。いくつかの光源のスペクトルエネルギー分布から、ピックランプ、高圧水銀ランプ、ヨウ素ガリウムランプが310-440NMの波長範囲で比較的大きな相対放射強度を持っていることがわかります。キセノンランプは適していません暴露ドライフィルムの。

光源の種類が選択された後、高出力の光源も考慮する必要があります。光の強度、高解像度、および短い曝露時間のため、写真プレートの熱変形の程度も小さいです。さらに、ランプの設計も非常に重要です。曝露後の貧弱な効果を避けたり減らしたりするために、インシデントを明るい均一かつ平行にしようとする必要があります。

2）暴露時間の制御（暴露量）

曝露プロセス中、フィルムの光重合は「ワンショット」または「1枚の曝露」ではなく、一般に3つの段階を経ます。

膜内の酸素またはその他の有害な不純物の閉塞により、イニシエーターの分解によって生成されるフリーラジカルが酸素と不純物によって消費され、モノマーのポリマー化が最小限である誘導プロセスが必要です。ただし、誘導期間が終了すると、モノマーの光重合が急速に進行し、フィルムの粘度が急速に増加し、突然の変化のレベルに近づきます。これは、感光性モノマーの急速な消費の段階であり、この段階は暴露プロセス中の曝露の大部分を説明しています。タイムスケールは非常に小さいです。感光性モノマーのほとんどが消費されると、モノマーの枯渇ゾーンに入り、この時点で光重合反応が完了しました。

曝露時間の正しい制御は、優れたドライフィルムレジスト画像を取得するための非常に重要な要素です。モノマーの重合が不完全であるため、発達プロセス中に曝露が不十分な場合、接着剤は膨張して柔らかくなり、ラインは透明ではなく、色は鈍く、さらにはgumめられ、フィルムはプレのプレートまたは電気栄養プロセス中にゆがんでいます。 、浸透、または落ちることさえあります。曝露が高すぎると、開発の難しさ、脆性フィルム、残留接着剤などの問題が発生します。さらに深刻なのは、誤った露出が画像の幅の偏差を引き起こすということです。過度の曝露は、パターンメッキのラインを薄くし、印刷とエッチングのラインを厚くします。それどころか、露出が不十分になると、パターンメッキのラインが薄くなります。印刷されたエッチングラインを薄くするために粗い。