Ho pepeseha ho bolela hore tlas'a mahlaseli a khanya ea ultraviolet, photoinitiator e monya matla a leseli 'me e senyeha ho ba li-radicals tsa mahala, ebe li-radicals tsa mahala li qala monoma ea photopolymerization ho phethahatsa polymerization le crosslinking reaction. Ho pepeseha hangata ho etsoa ka mochini o ikemetseng oa mahlakore a mabeli. Hona joale mochine oa ho pepeseha o ka aroloa ka moea o pholileng le o pholileng ka metsi ho ea ka mokhoa o pholileng oa mohloli oa leseli.
Lintlha tse Amang Boleng ba Litšoantšo tsa Ponahatso
Ntle le ts'ebetso ea photoresist ea filimi, lintlha tse amang boleng ba litšoantšo tsa ho pepeseha ke khetho ea mehloli ea leseli, taolo ea nako ea ho pepeseha (chelete ea ho pepeseha), le boleng ba lipoleiti tsa lifoto.
1) Khetho ea mohloli oa leseli
Mofuta ofe kapa ofe oa filimi o na le lekhalo la ona le ikhethang la ho monya, 'me mofuta ofe kapa ofe oa mohloli oa leseli o boetse o na le mokokotlo oa ona oa pono. Haeba tlhōrō e kholo ea spectral absorption ea mofuta o itseng oa filimi e ka kopana kapa hangata e kopana le spectral emission main spectrum ea mohloli o itseng oa leseli, tse peli li nyallana hantle 'me phello ea ho pepeseha ke eona e ntle ka ho fetisisa.
Lekhalo la ho monya ha filimi ea lapeng e ommeng le bonts'a hore sebaka sa ho monya ha spectral ke 310-440 nm (nanometer). Ho latela kabo ea matla a mabone a mehloli e mengata ea leseli, ho ka bonoa hore lebone la pick, lebone le phahameng la khatello e matla ea mercury, le lebone la iodine gallium li na le matla a mangata a amanang le mahlaseli a maqhubu a 310-440nm, e leng mohloli o loketseng oa leseli kgahlamelo ya filimi. Mabone a Xenon ha a tšoanelehekgahlameloea lifilimi tse omeletseng.
Ka mor'a hore ho khethoe mofuta oa mohloli oa leseli, mohloli oa leseli o nang le matla a phahameng le oona o lokela ho nkoa. Ka lebaka la matla a khanya a phahameng, qeto e phahameng, le nako e khutšoanyane ea ho pepeseha, tekanyo ea ho senyeha ha mocheso oa poleiti ea lifoto le eona e nyenyane. Ho phaella moo, moralo oa mabone o boetse oa bohlokoa haholo. Hoa hlokahala ho leka ho etsa hore ketsahalo e be bobebe 'me e tsamaisane, e le ho qoba kapa ho fokotsa phello e mpe ka mor'a ho pepeseha.
2) Taolo ea nako ea ho pepeseha (palo ea tlhahiso)
Nakong ea ts'ebetso ea ho pepeseha, photopolymerization ea filimi ha e "thunya e le 'ngoe" kapa "ho pepeseha ho le leng", empa ka kakaretso e feta mekhahlelo e meraro.
Ka lebaka la tšitiso ea oksijene kapa litšila tse ling tse kotsi ka har'a lera, ho hlokahala mokhoa oa ho kenya letsoho, moo li-radicals tse sa lefelloeng tse hlahisoang ke ho senyeha ha li-initiator li jeoa ke oksijene le litšila, 'me polymerization ea monoma e nyenyane. Leha ho le joalo, ha nako ea induction e felile, photopolymerization ea monoma e tsoela pele ka potlako, 'me viscosity ea filimi e eketseha ka potlako, e atamela boemo ba phetoho ea tšohanyetso. Ona ke mohato oa ts'ebeliso e potlakileng ea li-photosensitive monomer, 'me sethala sena se ikarabella bakeng sa ho pepeseha ha bongata nakong ea ts'ebetso ea ho pepeseha. Sekhahla sa nako se nyane haholo. Ha boholo ba li-photosensitive monomer li jeoa, li kena sebakeng sa ho fokotseha ha monoma, 'me karabelo ea photopolymerization e phethiloe ka nako ena.
Taolo e nepahetseng ea nako ea ho pepeseha ke ntlha ea bohlokoa haholo ho fumana litšoantšo tse ntle tsa ho hanyetsa filimi e ommeng. Ha ho pepeseha ha hoa lekana, ka lebaka la polymerization e sa phethoang ea li-monomers, nakong ea ts'ebetso ea nts'etsopele, filimi ea sekhomaretsi e ruruha 'me e fetoha e bonolo, mela e sa hlaka,' mala o lerootho, o bile o fokotsehile, 'me filimi e pota-potile nakong ea pele. -Plating kapa electroplating process. , ho phunya, kapa ho oela. Ha ho pepeseha ho phahame haholo, ho tla baka mathata a kang bothata ba tsoelo-pele, filimi e brittle, le sekhomaretsi se setseng. Ho tebileng le ho feta ke hore ho pepeseha ka phoso ho tla baka ho kheloha ha bophara ba mohala oa setšoantšo. Ho pepeseha ho feteletseng ho tla fokotsa mehala ea mokhoa oa ho roala le ho etsa hore mela ea khatiso le e etching e be metenya. Ho fapana le hoo, ho pepeseha ho sa lekaneng ho tla etsa hore methapo ea pente e be mesesaane. Mahoashe ho etsa hore mela e hatisitsoeng e be mesesaane.