ПХБ үйлдвэрлэх нарийн төвөгтэй үйл явцын улмаас ухаалаг үйлдвэрлэлийг төлөвлөх, барихад холбогдох үйл явц, менежментийн ажлыг авч үзэх шаардлагатай бөгөөд дараа нь автоматжуулалт, мэдээлэл, ухаалаг зохион байгуулалтыг хийх шаардлагатай байна.
Процессын ангилал
ПХБ-ийн давхаргын тоогоор нэг талт, хоёр талт, олон давхаргат хавтан гэж хуваагддаг. Гурван удирдах зөвлөлийн үйл явц нь ижил биш юм.
Нэг талт болон хоёр талт хавтангийн дотоод давхаргын процесс байхгүй, үндсэндээ зүсэх-өрөмдлөг-дараагийн процессууд.
Олон давхаргат хавтангууд нь дотоод процессуудтай байх болно
1) Нэг самбарын процессын урсгал
Зүсэх, зүсэх → өрөмдөх → гадна давхаргын график → (бүтэн алтаар бүрэх) → сийлбэр → үзлэг → торгон дэлгэц гагнуурын маск → (халуун агаар тэгшлэх) → торгон дэлгэцийн тэмдэгт → хэлбэр боловсруулах → туршилт → хяналт
2) Хоёр талт цагаан тугалга цацах хавтангийн процессын урсгал
Таслах ирмэг нунтаглах → өрөмдөх → хүнд зэс өтгөрүүлэх → гадна давхаргын график → цагаан тугалга бүрэх, сийлбэр авах → хоёрдогч өрөмдлөг → хяналт шалгалт → дэлгэц дээр хэвлэх гагнуурын маск → алтаар бүрсэн залгуур → халуун агаар тэгшлэх → торгон дэлгэц → хэлбэр боловсруулах → туршилт → туршилт
3) Хоёр талт никель алтаар бүрэх үйл явц
Өрөмдлөгийн ирмэг нунтаглах → өрөмдөх → хүнд зэс өтгөрүүлэх → гадна давхаргын график → никель бүрэх, алт зайлуулах, сийлбэрлэх → хоёрдогч өрөмдөх → хяналт → дэлгэц дээр хэвлэх гагнуурын маск → дэлгэц дээр хэвлэх тэмдэгт → хэлбэр боловсруулах → туршилт → хяналт
4) Олон давхаргат хавтанг цагаан тугалга цацах процессын урсгал
Зүсэх, нунтаглах → байрлал тогтоох цооног өрөмдөх → дотоод давхаргын график → дотоод давхаргын сийлбэр → үзлэг → харлах → цоолборлох → өрөмдлөг → хүнд зэс өтгөрүүлэх → гадна давхарга график → цагаан тугалга бүрэх, сийлбэрийн цагаан тугалга арилгах → хоёрдогч өрөмдлөг → үзлэгийн гагнуур → Silk дэлгэц → -бүрсэн залгуур→Халуун агаар тэгшлэх→Торгоны тэмдэгт→Хэлбэрийн боловсруулалт→Туршилт→Үзлэг
5) Олон давхаргат хавтан дээр никель болон алтаар бүрэх процессын урсгал
Зүсэх, нунтаглах → байрлал тогтоох цооног өрөмдөх → дотоод давхаргын график → дотоод давхаргын сийлбэр → үзлэг → харлах → цоолборлох → өрөмдлөг → хүнд зэс өтгөрүүлэх → гадна давхаргын график → алтаар бүрэх, хальс арилгах, сийлбэрлэх → хоёрдогч өрөмдөх → үзлэг → маск → гагнуур дэлгэц дээр хэвлэх тэмдэгт → хэлбэр боловсруулах → туршилт → шалгалт
6) Олон давхаргат хавтанд дүрэх никель алтан хавтангийн процессын урсгал
Зүсэх, нунтаглах → байрлал тогтоох цооног өрөмдөх → дотоод давхаргын график → дотор давхаргын сийлбэр → үзлэг → харлах → цоолборлох → өрөмдлөг → хүнд зэс өтгөрүүлэх → гадна давхаргын график → цагаан тугалга бүрэх, эш татан буулгах → хоёрдогч өрөмдлөг → үзлэгийн маск → Силк шигтгээ Никель алт руу дүрэх→Торгоны дэлгэцийн дүрүүд→Хэлбэр боловсруулах→Туршилт→Үзлэг
Дотоод давхаргын үйлдвэрлэл (график дамжуулалт)
Дотор давхарга: зүсэх самбар, дотоод давхаргыг урьдчилан боловсруулах, цоолборлох, өртөх, DES холболт
Зүсэх (самбар зүсэх)
1) хайчлах самбар
Зорилго: Захиалгын шаардлагын дагуу МИ-ийн заасан хэмжээгээр том материалыг хайчилж авах (үйлдвэрлэлийн өмнөх дизайны төлөвлөлтийн шаардлагын дагуу субстратын материалыг ажилд шаардагдах хэмжээгээр хайчлах)
Үндсэн түүхий эд: суурь хавтан, хөрөөний ир
Субстрат нь зэс хуудас, тусгаарлагч ламинатаар хийгдсэн. Шаардлагын дагуу өөр өөр зузаантай үзүүлэлтүүд байдаг. Зэсийн зузаанаар нь H/H, 1OZ/1OZ, 2OZ/2OZ гэх мэтээр хувааж болно.
Урьдчилан сэргийлэх:
а. Самбарын ирмэгийг чанарт үзүүлэх нөлөөллөөс зайлсхийхийн тулд зүссэний дараа ирмэгийг өнгөлж, дугуйруулна.
б. Өргөтгөх, агшилтын нөлөөллийг харгалзан зүсэх хавтанг процесс руу илгээхээс өмнө шатаасан байна
в. Зүсэх нь тууштай механик чиглэлийн зарчимд анхаарлаа хандуулах ёстой
Ирмэг/бөөрөнхийлэх: механик өнгөлгөө нь зүсэх явцад хавтангийн дөрвөн талын баруун өнцгөөс үлдсэн шилэн ширхэгийг арилгахад ашигладаг бөгөөд ингэснээр дараагийн үйлдвэрлэлийн явцад хавтангийн гадаргуу дээрх зураас/зураасыг багасгаж, чанарын далд асуудал үүсгэдэг.
Жигнэх хавтан: жигнэх замаар усны уур болон органик дэгдэмхий бодисыг зайлуулж, дотоод стрессийг арилгаж, хөндлөн холбоосын урвалыг идэвхжүүлж, хавтангийн хэмжээст тогтвортой байдал, химийн тогтвортой байдал, механик бат бөх чанарыг нэмэгдүүлнэ.
Хяналтын цэгүүд:
Хуудасны материал: хавтангийн хэмжээ, зузаан, хуудасны төрөл, зэсийн зузаан
Ажиллагаа: жигнэх хугацаа/температур, овоолгын өндөр
(2) Зүссэн хавтангийн дараа дотоод давхаргын үйлдвэрлэл
Үйл ажиллагаа ба зарчим:
Нунтаглагч хавтангаар барзгарласан дотоод зэс хавтанг нунтаглах хавтангаар хатааж, хуурай хальс IW наасаны дараа хэт ягаан туяа (хэт ягаан туяа) -аар цацруулж, ил гарсан хуурай хальс хатуу болдог. Үүнийг сул шүлтэнд уусгах боломжгүй, харин хүчтэй шүлтэнд уусгах боломжтой. Илрээгүй хэсэг нь сул шүлтлэгт уусч болох ба дотоод хэлхээ нь материалын шинж чанарыг ашиглан графикийг зэсийн гадаргуу руу шилжүүлэх, өөрөөр хэлбэл дүрс дамжуулах явдал юм.
Дэлгэрэнгүй
Ил гарсан хэсгийн эсэргүүцэл дэх гэрэл мэдрэмтгий санаачлагч нь фотонуудыг шингээж, чөлөөт радикалууд болж задардаг. Чөлөөт радикалууд нь мономеруудын хөндлөн холбоосын урвалыг эхлүүлж, шингэрүүлсэн шүлтэнд уусдаггүй орон зайн сүлжээний макромолекулын бүтцийг үүсгэдэг. Энэ нь урвалын дараа шингэрүүлсэн шүлтэнд уусдаг.
Зургийн дамжуулалтыг дуусгахын тулд сөрөг дээр зохион бүтээсэн хэв маягийг субстрат руу шилжүүлэхийн тулд ижил шийдэлд өөр өөр уусах шинж чанартай байхын тулд хоёрыг ашиглана уу).
Хэлхээний загвар нь өндөр температур, чийгшлийн нөхцлийг шаарддаг бөгөөд хальсыг хэв гажилтаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд ерөнхийдөө 22+/-3℃ температур, 55+/-10% чийгшил шаарддаг. Агаар дахь тоосжилт өндөр байх шаардлагатай. Шугамын нягтрал нэмэгдэж, шугам нь багасах тусам тоосны агууламж 10,000-аас бага буюу тэнцүү байна.
Материалын танилцуулга:
Хуурай хальс: Хуурай хальсан фоторезист нь усанд уусдаг эсэргүүцэлтэй хальс юм. Зузаан нь ерөнхийдөө 1.2mil, 1.5mil, 2mil байна. Энэ нь полиэфир хамгаалалтын хальс, полиэтилен диафрагм, гэрэл мэдрэмтгий хальс гэсэн гурван давхаргад хуваагддаг. Полиэтилен диафрагмын үүрэг нь цувисан хуурай хальсыг тээвэрлэх, хадгалах явцад зөөлөн хальсны хамгаалалтын бодисыг полиэтилен хамгаалалтын хальсны гадаргуу дээр наалдуулахаас урьдчилан сэргийлэх явдал юм. Хамгаалалтын хальс нь хүчилтөрөгчийг саадны давхарга руу нэвтрэн, чөлөөт радикалуудтай санамсаргүй урвалд орж фотополимержилт үүсэхээс сэргийлдэг. Полимержүүлээгүй хуурай хальсыг натрийн карбонатын уусмалаар амархан угаана.
Нойтон хальс: Нойтон хальс нь өндөр мэдрэмжтэй давирхай, мэдрэмтгий бодис, пигмент, дүүргэгч, бага хэмжээний уусгагчаас бүрдэх нэг бүрэлдэхүүн хэсэгтэй шингэн гэрэлд мэдрэмтгий хальс юм. Үйлдвэрлэлийн зуурамтгай чанар нь 10-15dpa.s бөгөөд энэ нь зэврэлтэнд тэсвэртэй, галд тэсвэртэй байдаг. , Нойтон хальс бүрэх аргууд нь дэлгэц дээр хэвлэх, шүрших зэрэг орно.
Процессын танилцуулга:
Хуурай кино дүрслэх арга, үйлдвэрлэлийн процесс нь дараах байдалтай байна.
Урьдчилан эмчилгээ-ламинжуулалт-өртөх-хөгжүүлэлт-сийлбэр-кино арилгах
Урьдчилан эмчлэх
Зорилго: Зэсийн гадаргуу дээрх өөхний ислийн давхарга болон бусад хольц зэрэг бохирдуулагчийг зайлуулж, зэсийн гадаргуугийн барзгаржилтыг нэмэгдүүлж, дараа дараагийн цоолборлох үйл явцыг хөнгөвчлөх.
Үндсэн түүхий эд: сойзны хүрд
Урьдчилан боловсруулах арга:
(1) Элс цацах, нунтаглах арга
(2) Химийн эмчилгээний арга
(3) Механик нунтаглах арга
Химийн боловсруулалтын аргын үндсэн зарчим: Зэсийн гадаргууг жигд хазах зорилгоор SPS болон бусад хүчиллэг бодис зэрэг химийн бодисыг ашиглан зэсийн гадаргуу дээрх тос, исэл зэрэг хольцыг арилгана.
Химийн цэвэрлэгээ:
Зэсийн гадаргуу дээрх тосны толбо, хурууны хээ болон бусад органик бохирдлыг арилгахын тулд шүлтлэг уусмал хэрэглэж, дараа нь зэсийн исэлдүүлэхээс сэргийлдэггүй оксидын давхарга болон хамгаалалтын бүрхүүлийг хүчиллэг уусмалаар арилгана. хуурай хальс авахын тулд сийлбэрийн боловсруулалт нь маш сайн наалддаг шинж чанартай, бүрэн барзгар гадаргуутай.
Хяналтын цэгүүд:
а. Нунтаглах хурд (2.5-3.2мм/мин)
б. Сорвины өргөн (500# зүү сойз өмссөн сорвины өргөн: 8-14мм, 800# нэхмэл бус даавууны сорвины өргөн: 8-16мм), усан тээрмийн туршилт, хатаах температур (80-90℃)
Ламинжуулалт
Зорилго: Халуун шахалтаар боловсруулсан субстратын зэсийн гадаргуу дээр зэврэлтээс хамгаалах хуурай хальс наана.
Үндсэн түүхий эд: хуурай хальс, уусмал дүрслэх төрөл, хагас усан дүрслэл төрөл, усанд уусдаг хуурай хальс нь голчлон органик хүчлийн радикалуудаас бүрдэх ба тэдгээр нь хүчтэй шүлттэй урвалд орж, органик хүчлийн радикал болгодог. Хайлчих.
Зарчим: Хуурай хальсыг өнхрүүлэн (хөлс): эхлээд хуурай хальснаас хамгаалалтын полиэтилен хальсыг хуулж, дараа нь хуурай хальсыг халааж, даралтын нөхцөлд зэс бүрсэн хавтан дээр нааж, хуурай хальсан дахь эсэргүүцлийг зөөлрүүлнэ. дулаан ба түүний шингэн чанар нэмэгддэг. Халуун даралтын булны даралт болон эсэргүүцэл дэх наалдамхай бодисын үйлчлэлээр хальсыг дуусгана.
Ороомог хуурай хальсны гурван элемент: даралт, температур, дамжуулах хурд
Хяналтын цэгүүд:
а. Зураг авалтын хурд (1.5+/-0.5м/мин), зураг авалтын даралт (5+/-1кг/см2), зураг авалтын температур (110+/——10℃), гарах температур (40-60℃)
б. Нойтон хальсан бүрэх: бэхний зуурамтгай чанар, бүрэх хурд, бүрэх зузаан, жигнэхээс өмнөх хугацаа/температур (эхний талд 5-10 минут, хоёр дахь тал нь 10-20 минут)
Халдвар авах
Зорилго: Анхны хальсан дээрх зургийг гэрэл мэдрэмтгий субстрат руу шилжүүлэхийн тулд гэрлийн эх үүсвэрийг ашиглана.
Үндсэн түүхий эд: Киноны дотор давхаргад хэрэглэдэг хальс нь сөрөг хальс, өөрөөр хэлбэл цагаан гэрэл дамжуулах хэсэг нь полимержсэн, хар хэсэг нь тунгалаг, урвалд ордоггүй. Гаднах давхаргад ашигласан хальс нь эерэг хальс бөгөөд энэ нь дотоод давхаргад хэрэглэгддэг хальсны эсрэг юм.
Хуурай хальсанд өртөх зарчим: Ил гарсан хэсгийн эсэргүүцэл дэх гэрэл мэдрэмтгий санаачлагч нь фотоныг шингээж, чөлөөт радикалууд болж задардаг. Чөлөөт радикалууд нь мономеруудыг хооронд нь холбох урвалыг эхлүүлж, шингэрүүлсэн шүлтэнд уусдаггүй макромолекулын бүтцийг үүсгэдэг.
Хяналтын цэгүүд: нарийн тохируулга, өртөлтийн энерги, өртөлтийн гэрлийн захирагч (6-8-р ангийн бүрээстэй хальс), оршин суух хугацаа.
Хөгжиж байна
Зорилго: Хуурай хальсны химийн урвалд ороогүй хэсгийг угаахын тулд шүлтлэг бодис ашиглана.
Үндсэн түүхий эд: Na2CO3
Полимержилтанд ороогүй хуурай хальсыг угааж, полимержилтэнд орсон хуурай хальсыг сийлбэр хийх явцад эсэргүүцэх хамгаалалтын давхарга болгон хавтангийн гадаргуу дээр хадгална.
Хөгжлийн зарчим: Гэрэл мэдрэмтгий хальсны ил задгай хэсэг дэх идэвхтэй бүлгүүд нь шингэрүүлсэн шүлтийн уусмалтай урвалд орж уусдаг бодис үүсгэж уусдаг ба ингэснээр ил гарсан хэсгийн хуурай хальс нь уусдаггүй.