Ny fipoahana dia midika fa eo ambanin'ny taratra taratra ultraviolet, ny photoinitiator dia mandray ny angovo maivana ary mivadika ho radika maimaim-poana, ary ny radika maimaim-poana dia manomboka ny monomer photopolymerization mba hanatanteraka ny polymerization sy crosslinking fanehoan-kevitra. Amin'ny ankapobeny dia atao amin'ny milina fampandrenesana misy lafiny roa mandeha ho azy ny fampiratiana. Amin'izao fotoana izao dia azo zaraina amin'ny rivotra mangatsiaka sy ny rano mangatsiaka ny milina fanasan-damba araka ny fomba fampangatsiahana ny loharano maivana.

Antony misy fiantraikany amin'ny kalitaon'ny sary

Ho fanampin'ny fampisehoana ny photoresist sarimihetsika, ny lafin-javatra izay misy fiantraikany amin'ny kalitaon'ny fakana sary dia ny fifantenana ny loharanom-pahazavana, ny fanaraha-maso ny fotoana fiposahan'ny masoandro (habetsahan'ny fipoahana), ary ny kalitaon'ny takelaka sary.

1) Ny safidy ny loharano hazavana

Ny karazana horonan-tsary rehetra dia manana ny curve spektral manokana azy manokana, ary ny karazana loharanon-jiro rehetra dia manana ny curve spectral émission azy ihany koa. Raha toa ka mifanipaka na mifanipaka amin'ny ankamaroan'ny tampon'ny famotsorana spektral amin'ny loharanon-jiro sasany ny tampon'ny spektera lehibe amin'ny karazana sarimihetsika iray, dia mifanandrify tsara ireo roa ireo ary ny fiantraikan'ny fiparitahana no tsara indrindra.

Ny curve absorption spectral amin'ny sarimihetsika maina an-trano dia mampiseho fa ny faritra absorption spectral dia 310-440 nm (nanometer). Avy amin'ny fizarana angovo azo avy amin'ny loharanom-pahazavana maromaro, dia hita fa ny jiro pick, ny jiro mikitroka avo lenta ary ny jiro iode gallium dia manana taratra taratra lehibe amin'ny halavan'ny onjam-pandrefesana 310-440nm, izay loharanom-pahazavana tsara indrindra ho an'ny hazavana. fampisehoana sarimihetsika. Ny jiro Xenon dia tsy mety amin'nyfifampikasohanaamin'ny sarimihetsika maina.

Aorian'ny fisafidianana ny karazana loharanon-jiro dia tokony hodinihina koa ny loharanon-jiro manana hery ambony. Noho ny hamafin'ny hazavana avo, ny fanapahan-kevitra avo, ary ny fotoana fohy fiposahan'ny masoandro, dia kely ihany koa ny haavon'ny fiovan'ny hafanana amin'ny takelaka sary. Ankoatra izany, ny famolavolana ny jiro dia tena zava-dehibe ihany koa. Ilaina ny miezaka manao ny zava-nitranga mazava fanamiana sy mirazotra, mba hisorohana na hampihenana ny ratsy vokany aorian'ny fipoahana.

2) Fanaraha-maso ny fotoana fiposahan'ny masoandro (habetsahan'ny fipoahana)

Nandritra ny dingan'ny fampahafantarana, ny photopolymerization ny sarimihetsika dia tsy "iray-tifitra" na "iray-fampisehoana", fa amin'ny ankapobeny dia mandalo dingana telo.

Noho ny fanakanana ny oksizenina na ny loto hafa manimba ao amin'ny membrane, dia ilaina ny fizotry ny induction, izay ny radika maimaim-poana vokatry ny fandotoana ny initiator dia lanin'ny oksizenina sy ny loto, ary ny polymerization ny monomer dia kely indrindra. Na izany aza, rehefa tapitra ny vanim-potoana induction, dia mandeha haingana ny photopolymerization ny monomer, ary mitombo haingana ny viscosity ny sarimihetsika, manatona ny haavon'ny fiovana tampoka. Ity no dingan'ny fanjifana haingana ny monomer photosensitive, ary io dingana io no mitantara ny ankamaroan'ny fiposahan'ny masoandro mandritra ny fizotran'ny fampiratiana. Kely dia kely ny haavon'ny fotoana. Rehefa levona ny ankamaroan'ny monomer photosensitive dia miditra ao amin'ny faritry ny fihenan'ny monomer izy, ary vita ny fanehoan-kevitra photopolymerization amin'izao fotoana izao.

Ny fanaraha-maso tsara ny fotoana fampandrenesana dia tena zava-dehibe amin'ny fahazoana sary mahatohitra sarimihetsika maina tsara. Rehefa tsy ampy ny fampiratiana, noho ny polymerization tsy feno ny monomers, mandritra ny dingan'ny fampandrosoana, ny sarimihetsika adhesive dia mivonto ary lasa malefaka, ny tsipika dia tsy mazava, ny loko dia manjavozavo, ary na dia degummed aza, ary ny sarimihetsika dia mivadika mandritra ny fotoana mialoha. - fomba fanaovana plating na electroplating. , fitsofana, na hianjera mihitsy aza. Rehefa avo loatra ny famirapiratana dia hiteraka olana toy ny fahasahiranana eo amin'ny fampandrosoana, ny sarimihetsika marefo, ary ny lakaoly sisa. Ny tena zava-dehibe dia ny fampitana tsy mety dia hiteraka fivilian'ny sakan'ny tsipika sary. Ny fiparitahana be loatra dia hanalefaka ny tsipika amin'ny fametahana lamina ary hahatonga ny tsipika fanontana sy etching ho matevina kokoa. Mifanohitra amin'izany, ny tsy fahampian'ny hazavana dia hahatonga ny tsipika amin'ny fametahana modely ho manify. Coarse mba hahatonga ny tsipika voasokitra vita pirinty manify.