Ngosipụta pụtara na n'okpuru irradiation nke ultraviolet ìhè, photoinitiator na-amịkọrọ ike ọkụ na decomposes n'ime free radicals, na free radicals wee malite photopolymerization monomer na-eme polymerization na crosslinking mmeghachi omume. A na-emekarị mkpughe n'igwe mkpughe nwere akụkụ abụọ akpaka. Ugbu a enwere ike kewaa igwe mkpughe n'ime ikuku na-ekpo ọkụ na mmiri dị ka usoro dị jụụ nke isi iyi ọkụ.

Ihe na-emetụta ogo onyonyo mkpughe

Na mgbakwunye na arụmọrụ nke ihe nkiri fotoresisist, ihe ndị na-emetụta àgwà ngosi ihe ngosi bụ nhọrọ nke ìhè ọkụ, njikwa oge ngosi (ọnụọgụ ngosi), na àgwà nke efere foto.

1) Nhọrọ nke isi iyi ọkụ

Ụdị ihe nkiri ọ bụla nwere usoro mmịpụta ihe pụrụ iche nke ya, na ụdị ọkụ ọ bụla nwekwara usoro ihe ngosi nke ya. Ọ bụrụ na isi spectral absorption ọnụ ọgụgụ nke ụfọdụ ụdị ihe nkiri nwere ike machie ma ọ bụ na-akasị overlap na spectral emission isi elu nke ụfọdụ ìhè, ha abụọ dakọtara nke ọma na mkpughe mmetụta kasị mma.

Ihe nrịba ama nke ihe nkiri akọrọ nke ụlọ na-egosi na mpaghara absorption nke dị na 310-440 nm (nanometer). Site na ikesa ike dị iche iche nke ọtụtụ isi mmalite ọkụ, enwere ike ịhụ na oriọna ghota, oriọna mercury dị elu na oriọna gallium ayodiin nwere oke radieshon dị n'ogo nke 310-440nm, nke bụ ezigbo isi iyi maka ọkụ. ikpughe ihe nkiri. Xenon oriọna adịghị mma makamkpughepụnke ihe nkiri akọrọ.

Mgbe ahọpụtara ụdị ọkụ ọkụ, a ga-atụlekwa isi iyi nke nwere ike dị elu. N'ihi ọkụ ọkụ dị elu, mkpebi dị elu, na obere oge ikpughe, ogo nke nrụrụ ọkụ nke efere foto dịkwa obere. Tụkwasị na nke ahụ, nhazi nke oriọna dịkwa oke mkpa. Ọ dị mkpa ịgbalị ime ka ihe ahụ merenụ mee ka ìhè dị ka otu na ihe yiri ya, iji zere ma ọ bụ belata mmetụta ọjọọ mgbe ikpughe.

2) Njikwa oge ikpughe (ego mkpughe)

N'oge usoro ikpughe, fotopolymerization nke ihe nkiri ahụ abụghị "otu-ise" ma ọ bụ "otu-ikpughe", ma na-agafe na nkebi atọ.

N'ihi nkwụsị nke ikuku oxygen ma ọ bụ ihe ndị ọzọ na-emerụ ahụ na akpụkpọ ahụ, a chọrọ usoro ntinye, nke a na-eji ikuku oxygen na ihe ndị na-adịghị mma na-eri ihe ndị na-emepụta free radicals na-emepụta site na nrụrụ nke onye na-emepụta ihe, na polymerization nke monomer dị ntakịrị. Otú ọ dị, mgbe oge ntinye ahụ gafere, photopolymerization nke monomer na-aga ngwa ngwa, na viscosity nke ihe nkiri ahụ na-abawanye ngwa ngwa, na-erute ọkwa nke mgbanwe mberede. Nke a bụ ọkwa nke oriri ngwa ngwa nke monomer photosensitive, na ọkwa a na-akpata ihe ka ukwuu n'ikpughe n'oge usoro ikpughe. Ogologo oge a dị obere. Mgbe a na-eri ọtụtụ n'ime monomer photosensitive, ọ na-abanye na mpaghara nkwụsị nke monomer, na mmeghachi omume photopolymerization agwụla n'oge a.

Njikwa ziri ezi nke oge ikpughe bụ ihe dị oke mkpa n'inweta ihe nkiri akọrọ nke ọma na-eguzogide ihe oyiyi. Mgbe ikpughe na-ezughị ezu, n'ihi polymerization ezughị ezu nke monomers, n'oge usoro mmepe, ihe nkiri ahụ na-egbuke egbuke na-egbuke egbuke ma na-adị nro, ahịrị ndị ahụ adịghị edozi, agba na-agwụ ike, na ọbụna na-agbaji, na ihe nkiri ahụ na-agbapụ n'oge mbụ. -plating ma ọ bụ electroplating usoro. , anya mmiri, ma ọ bụ ọbụna dapụ. Mgbe mkpughe ahụ dị elu, ọ ga-ebute nsogbu dị ka ihe isi ike na mmepe, ihe nkiri na-agbaji agbaji, na gluu fọdụrụnụ. Ihe dị njọ karị bụ na mkpughe na-ezighi ezi ga-eme ka obosara ahịrị onyonyo gbanwee. Mkpughe nke ukwuu ga-eme ka ahịrị ndị a na-etinye ụkpụrụ na-adị mkpa ma mee ka ahịrị obibi akwụkwọ na etching sie ike karị. N'ụzọ megidere nke ahụ, ikpughe na-ezughị ezu ga-eme ka ahịrị plating ụkpụrụ bụrụ nke dị gịrịgịrị. Na-adịchaghị mma iji mee ka ahịrị etched ndị e biri ebi dị gịrịgịrị.