ʻO ke ʻano o ka hoʻolaha ʻana ma lalo o ka hoʻomālamalama ʻana o ke kukui ultraviolet, hoʻopau ka photoinitiator i ka ikehu māmā a decomposes i nā radical manuahi, a laila hoʻomaka nā radical manuahi i ka monomer photopolymerization e hoʻokō i ka polymerization a me ka crosslinking reaction. Lawe ʻia ka ʻike ma kahi mīkini hoʻolaha ʻaoʻao ʻelua. I kēia manawa hiki ke hoʻokaʻawale ʻia ka mīkini hoʻolaha i ka ea a me ka wai hoʻoluʻu e like me ke ʻano hoʻoluʻu o ke kumu kukui.

Nā mea e pili ana i ka maikaʻi o ke kiʻi hōʻike

Ma waho aʻe o ka hana o ka photoresist kiʻiʻoniʻoni,ʻo nā mea e pili ana i ka maikaʻi o kaʻike kiʻi kiʻi,ʻo ia ke kohoʻana i nā kumu kukui, ka mana o ka manawa hoʻolaha (ka nui o kaʻike), a me ka maikaʻi o nā papa kiʻi.

1) ʻO ke koho o ke kumu kukui

Loaʻa i kēlā me kēia ʻano kiʻiʻoniʻoni kona ʻano kikoʻī kikoʻī kikoʻī kikoʻī, a ʻo kēlā me kēia ʻano kumu kukui i loaʻa i kāna ʻano kikoʻī kikoʻī. Inā hiki ke hili a i ʻole ka hapa nui o ka spectral absorption peak o kekahi ʻano kiʻiʻoniʻoni me ka spectral emission kumu nui o kekahi kumu kukui, ua hoʻohālikelike maikaʻi ʻia nā mea ʻelua a ʻoi aku ka maikaʻi o ka hopena.

Hōʻike ka ʻāpana hoʻoheheʻe spectral o ke kiʻiʻoniʻoni maloʻo i ka 310-440 nm (nanometer) ka ʻāpana hoʻoheheʻe spectral. Mai ka hāʻawi ʻana i ka ikehu spectral o nā kumu kukui, hiki ke ʻike ʻia ʻo ke kukui koho, ke kukui mercury kiʻekiʻe, a me ke kukui iodine gallium he nui ka nui o ka radiation e pili ana i ka lōʻihi o ka nalu o 310-440nm, kahi kumu kukui kūpono no hōʻike kiʻiʻoniʻoni. ʻAʻole kūpono nā kukui Xenon nohōʻikeo na kii maloo.

Ma hope o ke koho ʻia ʻana o ke ʻano kumu kukui, pono e noʻonoʻo ʻia ke kumu kukui me ka mana kiʻekiʻe. Ma muli o ke kiʻekiʻe o ke kukui, ka hoʻonā kiʻekiʻe, a me ka manawa hōʻike pōkole, liʻiliʻi ka deformation thermal o ka pā kiʻi. Eia kekahi, he mea nui loa ka hoʻolālā ʻana o nā kukui. Pono pono e ho'āʻo e hana i ka hana maʻalahi a kūlike, i pale a hōʻemi paha i ka hopena maikaʻi ʻole ma hope o ka hoʻolaha ʻana.

2) Ka hoʻomalu i ka manawa hoʻolaha (ka nui o ka hōʻike)

I ka wā o ka hoʻolaha ʻana, ʻaʻole "hoʻokahi-pana" a i ʻole "hoʻokahi-hōʻike" ka photopolymerization o ke kiʻiʻoniʻoni, akā hele maʻamau i ʻekolu pae.

Ma muli o ke keakea ʻana o ka oxygen a i ʻole nā ​​​​mea haumia ʻē aʻe i loko o ka membrane, pono ke kaʻina hana induction, kahi i hoʻopau ʻia ai nā radical manuahi e ka decomposition o ka mea hoʻomaka e ka oxygen a me nā haumia, a he liʻiliʻi ka polymerization o ka monomer. Eia nō naʻe, i ka pau ʻana o ka manawa induction, hele wikiwiki ka photopolymerization o ka monomer, a piʻi wikiwiki ka viscosity o ke kiʻiʻoniʻoni, e hoʻokokoke ana i ke kiʻekiʻe o ka loli koke. ʻO kēia ka pae o ka hoʻohana wikiwiki ʻana i ka monomer photosensitive, a ʻo kēia kaʻina no ka hapa nui o ka ʻike i ka wā o ka hoʻolaha. He liʻiliʻi loa ka pae manawa. Ke hoʻopau ʻia ka hapa nui o ka monomer photosensitive, komo ia i ka wahi hoʻopau monomer, a ua pau ka hopena photopolymerization i kēia manawa.

ʻO ka mana kūpono o ka manawa hōʻike he mea nui loa ia i ka loaʻa ʻana o nā kiʻi pale maloʻo maikaʻi. Ke lawa ʻole ka hoʻolaha ʻana, ma muli o ka polymerization piha ʻole o nā monomers, i ka wā o ka hoʻomohala ʻana, pehu ka kiʻi ʻoniʻoni a lilo i palupalu, ʻaʻole maopopo nā laina, ʻeleʻele ke kala, a me ka degummed, a me ke kiʻi ʻoniʻoni i ka wā o ka mua. -plating a electroplating kaʻina hana. , kaʻeʻe, a hāʻule paha. Ke kiʻekiʻe loa ka hoʻolaha ʻana, e hoʻopilikia ia e like me ka paʻakikī o ka hoʻomohala ʻana, brittle film, a me ke koena glue. ʻO ka mea ʻoi aku ka koʻikoʻi, ʻo ka hoʻolaha hewa ʻana e hoʻokaʻawale i ka laulā laina kiʻi. ʻO ka hoʻolaha nui ʻana e hoʻoemi i nā laina o ka hoʻopalapala ʻana a e mānoanoa ai nā laina o ke paʻi ʻana a me ke kaha. ʻO ka mea ʻē aʻe, ʻaʻole lawa ka hoʻolaha ʻana e lilo nā laina o ka hoʻopili ʻana i nā mea lahilahi. ʻOkoʻa e hoʻomāʻemi i nā laina i paʻi ʻia.