Tagraíonn ciorcad scannán tiubh do phróiseas déantúsaíochta an chuaird, a thagraíonn d'úsáid na teicneolaíochta leathsheoltóra páirteach chun comhpháirteanna scoite, sliseanna lom, naisc miotail, etc., a chomhtháthú ar fhoshraith ceirmeach. Go ginearálta, clóitear an fhriotaíocht ar an tsubstráit agus déantar an fhriotaíocht a choigeartú le léasair. Tá cruinneas friotaíochta 0.5% ag an gcineál seo de phacáistiú ciorcad. Úsáidtear go ginearálta é i réimsí micreathonn agus aeraspáis.
Gnéithe Táirge
1. Ábhar foshraithe: 96% alúmana nó ceirmeach ocsaíd beirilliam
2. Ábhar seoltóra: cóimhiotail mar airgead, pallaidiam, platanam, agus an copar is déanaí
3. Greamaigh friotaíochta: sraith ruthenate go ginearálta
4. Próiseas tipiciúil: CAD–déanamh plátaí–priontáil–triomú–sintéiriú–ceartúchán frithsheasmhachta–suiteáil bioráin–tástáil
5. Cúis leis an ainm: Tá an friotaíocht agus tiús scannán seoltóra níos mó ná 10 miocrón go ginearálta, atá beagán níos tibhe ná an tiús scannán an chuaird déanta ag sputtering agus próisis eile, mar sin tá sé ar a dtugtar scannán tiubh. Ar ndóigh, tá tiús scannáin an phróisis reatha friotóirí clóite níos lú ná 10 miocrón freisin.
Réimsí iarratais:
Úsáidtear go príomha i dtáirgí leictreonacha ardvoltais, inslithe ard, minicíocht ard, teocht ard, ard-iontaofacht, toirt beag. Tá roinnt réimsí iarratais liostaithe mar seo a leanas:
1. Boird chiorcaid ceirmeacha le haghaidh oscillators clog ard-chruinneas, oscillators voltas-rialaithe, agus oscillators teocht-chúitimh.
2. Miotalú an tsubstráit ceirmeach den chuisneoir.
3. Miotalú ar fhoshraitheanna ceirmeacha ionduchtaithe mount dromchla. Miotalú leictreoidí lárnacha ionduchtóra.
4. Cumhacht modúl rialaithe leictreonaigh inslithe ardvoltais bord ciorcad ceirmeach.
5. Boird chiorcaid ceirmeacha le haghaidh ciorcaid teocht ard i toibreacha ola.
6. Bord ciorcad ceirmeach sealaíochta soladach stáit.
7. Bord ciorcad ceirmeach cumhachta modúl DC-DC.
8. Gluaisteán, rialtóir gluaisrothar, modúl adhainte.
9. Modúl tarchuradóra cumhachta.